Introduksjon
HD100Rhalvleder magnetisk pumpeer et profesjonelt overføringsutstyr skreddersydd-for halvlederindustrien. Den har en tetningsløs magnetisk drivstruktur, og leverer null lekkasje og null ekstern forurensning gjennom hele driften, og oppfyller fullt ut de høye-renslighetskravene til halvlederverksteder.
De fuktede delene av denne magnetiske PTFE-pumpen for halvledere er laget av PTFE med høy-renhet, som motstår ulike svært korrosive halvlederkjemikalier uten ionefelling eller middels gjennomtrengning. Den overfører trygt spesielle kjemikalier som etseløsninger, rengjøringsløsninger og høy-reagenser. Den integrert utformede døde-plassen-frie pumpekroppen med høy-glans overflate muliggjør grundig rengjøring og forhindrer effektivt middels rester og kryss-kontaminering. Som en pålitelig magnetisk pumpe for halvlederkjemikalier, kjører den jevnt med lav vibrasjon og støtter 24{11}timers kontinuerlig drift. Mye brukt i wafer-fremstilling, chip-emballasje og halvledervåte prosesser, fungerer den som en kjerneenhet for å transportere etsende kjemikalier med høy renhet i halvledersektoren.
Produktstrukturskjema
Teknisk parameter
Modell | Rør-grensesnitt | SpiralgrensesnittR-M RX-MRZ-M | Maks. kapasitet (L/min) | Maks. hode(m) | Spesifikk vekt | Motor | Vekt (kg) | |||
Innløp (mm) | Utløp (mm) | Innløp/utløp | Koblingsdimensjoner (mm) | 50Hz/60Hz | 50Hz/60Hz | Utgang(w) 50Hz/60Hz | Fase | |||
HD100R | 26 | 26 | G1 | 20 | 120/135 | 8.6/11.9 | 1.2 | 260/265 | 1 eller 3 | 8.1 |
Ytelseskurve
Viktige fordeler
1. Integrert formet PTFE med høy-renhet med utmerket korrosjonsbestandighet
De fuktede delene av denne magnetiske PTFE-pumpen for halvledere er integrert kompresjonsstøpt-med fortykket PTFE med høy-renhet. Sammenlignet med konvensjonelle skjøtede PTFE-pumper har den sterkt forbedret motstand mot gjennomtrengning av svært korrosive kjemikalier og høyere trykkbestandighet. Den er fullt anvendelig for lang-levering av høy-eteløsninger og strippere for halvledere, og forhindrer materialdelaminering, utbuling og ioneutfelling.
2. Høy-flytstruktur for stabil levering
Den tilpassede hydrauliske modulen med høy-flyt er designet for masse-produksjon av halvlederlinjer. Den tilbyr et bredere strømningsområde og stabil trykkutgang for å levere væske til flere våte prosesslinjer samtidig, og løser problemene med utilstrekkelig trykkhøyde og drastiske strømningssvingninger til vanlige magnetiske pumper under høye-strømningsforhold.
3. Fullt forseglet magnetisk drivsystem med høy-belastning
Denne magnetiske pumpen for halvlederkjemikalier er utstyrt med oppgraderte forsterkede magnetiske koblingskomponenter for høyere dreiemomentkapasitet. Kombinert med et fullstendig forseglet støvtett og anti-korrosjonshus, opprettholder den langvarig-full-kontinuerlig drift og isolerer luftbårne partikler og korrosiv gass i støv-frie verksteder for å beskytte kjernetransmisjonsdeler.
4. Stor-kapasitet død-plass-fri hulromsdesign
Det forstørrede hulrommet til HD100R tar i bruk optimert jevn overgang uten døde hjørner med væskeretensjon. Innerveggen med høy-glans gjør det raskere og mer grundig-rengjøring mulig. Ideell for alternativ levering av ulike halvlederkjemikalier, unngår den fullstendig kryss-risiko.
5. Høytrykksbestandig struktur for komplekse rørledningsforhold
Pumpehuset og koblingsdelene er forsterket for høyt trykk, med bedre trykkbæreevne enn tilsvarende modeller. Den tilpasser seg komplekse rørledninger, lang-levering og svingende rørledningstrykk i halvlederverksteder, og fungerer stabilt uten lekkasje eller deformasjon.
Typiske applikasjoner
● Lang-transport av høy-konsentrasjon av flussyre for waferetsing
Det integrert komprimerte-støpte fortykkede PTFE-materialet av HD100R motstår-langtidsgjennomtrengning av flussyre, og unngår delaminering av skallet og utbuling under lang-høytrykkstransport-.
● Sentralisert væsketilførsel for parallelle halvleder-våtprosessproduksjonslinjer
Utstyrt med en dedikert høy-hydraulikkmodul, har denne industrielle halvleder-magnetpumpen ekstremt lav demping av leveringshøyde og strømningshastighet. Den kan stabilt levere væske til mer enn 3 produksjonslinjer for rengjøring og etsing uavhengig, og erstatter parallell utplassering av flere små-magnetiske pumper.
● Vekslende sirkulerende transport av diversifiserte syre-basekjemikalier for halvledere
Med et utvidet, glatt, -fritt rom-fritt hulrom og høy-innervegg, etterlater den ingen kjemikalierester etter nettrengjøring, og forhindrer grundig kryss-kontaminering under vekslende levering av etseløsninger og strippere, og tilpasser seg hyppige arbeidsforhold for kjemisk bytte.
Dimensjon (mm)
Modell | W | H | L | a | b | c | h | e | f | g | i |
HD100R | 156 | 174 | 335 | 70 | 100 | 110 | 74 | 65.5 | 44 | 147 | 4-9*27 |
FAQ
Spørsmål: Under lang-transport av kjemisk væske, vil bakvannspåvirkning fra rørledninger forårsake pumpelekkasje og deformasjon på grunn av utilstrekkelig trykkmotstand?
A: Ingen trykkfeil vil oppstå med standard rørledningsoppsett. Trykktap forekommer uunngåelig i langdistanse-halvleder-etsende væskerørledninger, og omvendt bakvannspåvirkning vil sannsynligvis oppstå under avstenging av utstyr og regulering av grentrykk. Som en industriell halvleder-magnetisk pumpe tar HD100R i bruk målrettet trykkforsterkning for lang-bakvannsarbeidsforhold. Karbonfiberforsterkede foringer er innebygd i skjøter av pumpehusflenser og pumpedeksler, med en nominell trykkmotstand på opptil 1,6 MPa. Det kan oppveie dynamisk rørlednings bakvannspulstrykk. I mellomtiden har det integrert støpte PTFE-huset ingen skjøtehull, noe som forhindrer sprekker i foringsrøret og væskelekkasje, og støtter kjemisk transport av halvledere over 100 meter.
Spørsmål: Vil leveringsmodusen for høy-flyt til HD100R redusere hydraulisk effektivitet?
Sv: Ingen hydraulisk effektivitetsdempning forekommer innenfor det angitte høye-strømningsområdet. Utstyrt med tilpasset bred-seksjonsspiral og fremover-tilbøyelig lav-virvelhjul, optimaliserer HD100R tilpasning av strømningsbanens krumning. Dens hydrauliske effektivitet forblir stabilt over 78 % under alle vurderte arbeidsforhold med høy-strøm uten effektivitetsreduksjon med økende strømningshastighet, og sikrer jevnt grentrykk for parallell fler-væsketilførsel.
Spørsmål: Hvor kan jeg kjøpe HD100Rhalvleder magnetisk pumpe?
A: Du kan kontakte salgsteamet vårt via e-postjuicy@sxhono.com.cnfor å innhente produktspesifikasjoner, tilbud og utvalgsanbefalinger. Hvis du har spesielle applikasjonskrav, kan vi også gi deg tilpassede væskeoverføringsløsninger.
Populære tags: halvleder magnetisk pumpe, Kina halvleder magnetisk pumpe produsenter, leverandører, fabrikk
